Weitere Forschungsgebiete
Piezoelektrische Dünnfilm-Materialien sind entscheidend für Anwendungen (Sensorik, Signalverarbeitung, …), die auf akustischen Oberflächenwellen (SAW) basieren. Die hohe Präzision und Effizienz von SAW-Bauteilen machen sie zu unverzichtbaren Komponenten in der modernen Mikrosystemtechnik. Hierbei hängen die Effizienz und Leistungsfähigkeit von SAW-Bauteilen stark von den verwendeten piezoelektrischen Materialen ab. Im Rahmen des Projekts soll ein neuartiges Material charakterisiert werden, welches schon bei Schichtdicken von 30 µm vielversprechende Eigenschaften aufweist. Hierzu wird die Ausbreitung von hochfrequenten Ultraschallwellen in solchen Schichten modelliert, um dann auf die Materialparameter zurückschließen zu können. |
HF-Platine zur Messung der S-Parameter von Verzögerungsleitungen.